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一种晶圆涂胶系统.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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一种晶圆涂胶系统.pdf

    本实用新型涉及一种晶圆涂胶系统，包括晶圆涂胶装置、加热装置和控制装置；晶圆涂胶装置用于对晶圆进行涂胶；加热装置包括加热板，加热板表面承载涂胶后晶圆，加热板划分成若干个加热区域，每个加热区域对应设有一个监测组件，监测组件包括温度监测件和警报器；控制装置包括温度监测模块、温度判断模块和警报控制模块；温度获取模块用于获取温度监测件监测的实时温度；温度判断模块用于判断温度监测件的温度比是否大于预设温度比；警报控制模块用于当判断温度监测件的温度比大于预设温度比时，控制警报器启动；本实用新型能够保证加热板中

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213315899 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202021148052.0 B05C 9/14 (2006.01)

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