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镀膜设备状态实时监控装置.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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镀膜设备状态实时监控装置.pdf

    本实用新型为一种镀膜设备状态实时监控装置，该装置设置于腔体底板中央，由气缸、空心保护柱、步进电机和摄像头组成：气缸设置在镀膜设备的高真空腔体底板外，腔体底板设置真空法兰，活塞穿过真空法兰进入腔体内；腔体底板上垂直设置空心保护柱，气缸活塞与空心保护柱同轴；活塞顶部依次向上设置有气缸、步进电机及摄像头，步进电机的转子带动摄像头旋转，所述气缸、步进电机及摄像头均设置于空心保护柱内；空心保护柱顶面中央开孔，开孔大小与摄像头匹配；摄像头、步进电机和气缸同时与控制器电性连接。该装置可实时监控挡板和坩埚口状况

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213327818 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022159528.7 (22)申请日 2020.09.27 (73)专利权人 云南北方奥雷德光电科技股份有

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