电容传感器及测量电路.pptVIP

第章电容传感器及测量电路 第1页，共39页。 电容传感器：被测物理量变化导致传感器的电容量变化 通过测量电容量的变化——实现非电物理量的电测量 第2页，共39页。 4.1 电容式传感器的工作原理和结构 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为 式中: C ——电容量，F(法拉） ε ——电容极板间介质的介电常数, ε =ε0·εr, ε0——为真空介电常数, εr ——为极板间介质相对介电常数; S ——两平行板所覆盖的面积（m2）;  d ——两平行板之间的距离(m)。 第3页，共39页。 对电容有影响的参数—— 有效面积S、 间距d， 相对介电常数εr 当被测参数变化使得式（4- 1）中的S、d或ε （εr）发变化时, 电容量C也随之变化。 如果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。因此, 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。 第4页，共39页。 一、变面积（S）型 改变平板电容器有效截面积的方法： 直线位移 角位移（旋转） 第5页，共39页。 1. 角位移式 当动极板有一个角位移θ时,