一种带有弹性密封件的涂层装置.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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一种带有弹性密封件的涂层装置.pdf

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本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种带有弹性密封件的涂层装置，其包括真空罩、液冷载台组件、弹性密封件和真空罩底座冷盘，真空罩底座冷盘密封安装于真空罩的底壁，液冷载台组件包括液冷载台和空心支撑管，空心支撑管滑动设置于真空罩底座冷盘，空心支撑管的上端突伸至真空罩内部并与液冷载台固定连接，真空罩底座冷盘用于对真空罩降温冷却，液冷载台组件用于承载刀具并调整刀具的位置高度，液冷载台和真空罩底座冷盘均为中空结构，冷却液导入液冷载台和真空罩底座冷盘内部以实现冷却，弹性密封件套设于空心支撑管外侧，弹性密

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213388881 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202021871559.9 (22)申请日 2020.08.31 (73)专利权人广东鼎泰机器人科技有限公司