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本实用新型涉及精密校正技术领域,公开了一种芯片快速精密定位校正装置,包括校正台底板,校正台底板上设置有XY精密运动平台,XY精密运动平台上设有旋转吸附平台;旋转吸附平台的上方设有推刀系统,推刀系统的上方设置有俯视相机系统,俯视相机系统包括俯视相机和与俯视相机固定连接的相机镜头,相机镜头的一侧设置有光源。本实用新型在使用时,先通过俯视相机拍芯片的角度和位置,通过图像识别算法获得相应的数值,然后将相应的角度补偿值换算成旋转空心电机的参数,旋转空心电机进行角度补偿后,XY精密运动平台载芯片进行XY方向
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218585951 U
(45)授权公告日 2023.03.07
(21)申请号 202223286148.5
(22)申请日 2022.12.08
(73)专利权人 西北电子装备技术研究所(中国
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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