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- 2023-03-09 发布于四川
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本实用新型公开了PVD真空镀膜阴极磁控溅射多弧靶屏蔽罩，包括金属导电层、散热层、塑料导电层、绝缘层、安装层和阴极磁控溅射多弧靶，所述金属导电层内设置有散热层，所述散热层内设置有塑料导电层，所述塑料导电层内设置有绝缘层，所述绝缘层内固定连接有安装层，所述安装层内滑动连接有阴极磁控溅射多弧靶。本实用新型设置有安装层和金属导电层，使装置结构简单合理，安装简易，耐用，同时塑料导电层为有机硅板，可使装置价格低、强度高、韧性好；本实用新型设置有散热层和绝缘层，散热层为铝合金散热片，使其发出的热量更有效地传导
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213388872 U
(45)授权公告日 2021.06.08
(21)申请号 202021905463.X B32B 9/04 (2006.01)
(22)申请日 20
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