原创力文档- 1
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- 2023-03-10 发布于北京
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本实用新型公开了一种石英坩埚移动装置，目的是石英坩埚切断工序中，有搬运，测量，切割，清洗等多个工位，全程需要夹持坩埚进行作业，根据工序要求，坩埚旋转，升降，水平移动到预定位置。此机构用电动三爪卡盘夹持坩埚，用伺服电机扭矩控制模式控制夹紧力。另一端通过气动离合器的开启连接上旋转电机带动该机构旋转。此机构安装在升降板上，通过旋转型丝杆，配合四根导向轴做升降运动。此机构通过齿轮齿条和导轨的组合可以实现长距离水平搬运移动。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213415465 U
(45)授权公告日 2021.06.11
(21)申请号 202021900355.3
(22)申请日 2020.09.03
(73)专利权人 上海汉虹精密机械有限公司
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