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一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于北京
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一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备.pdf

    本实用新型属于金属表面处理技术领域，具体涉及硼掺杂金刚石基底表面处理的设备和方法。一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备，包括抛光装置、化学处理装置和喷砂装置；所述抛光装置主要由传送带、抛光棒和样品固定装置组成，所述样品固定装置和抛光棒设置在所述传送带上方。本实用新型的自动化设备，集成抛光处理，化学处理，喷砂处理，将化学处理和物理处理有机结合，成本远远低于等离子刻蚀技术；有效增加基片的表面粗糙度，增加电极水处理面积；提高薄膜与基底的结合性能，延长电极使用寿命，降低电极使用成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213411555 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202022134426.X B24B 47/22 (2006.01)

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