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一种金属蒸气供应装置.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于北京
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一种金属蒸气供应装置.pdf

    本实用新型公开了一种金属蒸气供应装置，包括真空容器，所述真空容器一侧底部固定连接有真空泵，所述真空容器内部中心处设置有固定架，所述固定架外壁固定连接有若干个第一挂具。本实用新型金属蒸气供应装置设置有第一喷头、第二喷头、第一挡板、第二挡板和螺旋搅拌棒，通过第一喷头和第二喷头将反应气体喷向螺旋搅拌棒，利用电机带动螺旋搅拌棒运动，使得气体分别向第一挡板和第二挡板方向运动，与第一蒸发源和第二蒸发源反应生成金属的卤化物蒸汽，扩散并沉积到工件上，能够使金属蒸汽扩散的更加均匀，并且即使在蒸气压低处的金属也能轻

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213417008 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202022058192.5 (22)申请日 2020.09.18 (73)专利权人 昆

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