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一种复合结构的靶材组件.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于北京
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一种复合结构的靶材组件.pdf

    本实用新型涉及靶材制造技术领域，尤其是一种复合结构的靶材组件，包括靶材与背板，背板设有凹槽，靶材沿厚度方向嵌入凹槽内，靶材的底面及侧面均与凹槽紧密贴合，靶材的中心厚度与凹槽的最大深度之比不少于80％，靶材与背板以焊接方式复合。本实用新型中凹槽紧密包围靶材的复合结构增加了凹槽与靶材之间的侧面接触面积及总接触面积，既不减少靶材的有效厚度及靶材组件的的整体厚度，也实现了尽可能多的靶材与具备高热导率的背板进行接触及热传导，从而减少靶材组件整体热阻率，大幅提升靶材组件单位时间的导热能力，有效地改善了靶材复

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213417000 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202021922333.7 (22)申请日 2020.09.04 (73)专利权人 深圳市鑫意晟科技有限公司

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