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真空镀膜机腔体.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于北京
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真空镀膜机腔体.pdf

    本实用新型涉及一种真空镀膜机腔体，包括：腔体，腔体呈多边形立方体；真空镀膜机门，设置在腔体的一个立面上；平面阴极接口，若干个平面阴极接口设置在腔体的立面上；小弧源接口，若干个小弧源接口设置在腔体的立面上；旋转多弧接口，若干个旋转多弧接口设置在真空镀膜机门上；主抽口；若干个主抽口设置在腔体的立面上。本实用新型提供一种多边形的真空镀膜机腔体，改变了圆筒型真空镀膜机功能比较单一的技术问题，提高了真空镀膜机腔体的功能。另外，相对于圆筒型真空镀膜机，其功能件安装面增加可安装多种靶材，真空镀膜机的功能增强，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213416999 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202022109518.2 (22)申请日 2020.09.23 (73)专利权人 上海福宜真空设备有限公司

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