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扫描装置.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于北京
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扫描装置.pdf

    一种扫描装置，包括：扫描头(1)，用于获取衬底的图像；支撑件(3)，与扫描头(1)相关联，用于支撑至少一个参考元件(4)。支撑件(3)可在活动位置(P1)和非活动位置(P2)之间移动，在活动位置中，扫描头(1)可获取所述至少一个参考元件(4)的图像，在非活动位置中，扫描头(1)可获取衬底的图像而不干扰支撑件(3)。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213426249 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202022232681.8 (22)申请日 2020.10.09 (30)优先权数据 202019000

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