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- 2023-03-10 发布于北京
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本实用新型公开了一种等离子流化床装置，包括等离子发生器和流化床，等离子发生器包括反应气体罐、保护气体罐、等离子产生机构和气体混合机构，所述等离子产生机构包括高压电源和射频电源，反应气体流分别经过高压电源和射频电源变成等离子反应流，等离子反应流与保护气体流在气体混合机构中混合成混合流进入流化床；流化床包括床体和加热机构，加热机构对床体进行加热，混合流在床体中与工件表面进行反应。本实用新型通过反应气体罐、保护气体罐和气体混合机构的配合，控制混合流的总量及其中等离子反应流的浓度，减少副反应；通过高压电
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213417007 U
(45)授权公告日 2021.06.11
(21)申请号 202021732288.9
(22)申请日 2020.08.19
(73)专利权人 苏州纽姆特科技有限公司
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