用于化学气相沉积系统的气体管道清洗机构.pdfVIP

下载本文档

2
0
约9.49千字
约 9页
2023-03-10 发布于四川
举报
版权申诉

用于化学气相沉积系统的气体管道清洗机构.pdf

1、本文档共9页，其中可免费阅读5页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请提出了一种用于化学气相沉积系统的气体管道清洗机构，包括壳体、输送泵和第一管道。壳体包括彼此隔离的安装腔和洗液腔，洗液腔用于容纳清洗液；输送泵，设置于安装腔内，输送泵包括进液端和出液端，进液端与安装腔连通，用于吸取清洗液；第一管道第一管道的一端与出液端连通，另一端设有与气体管道的进液口适配的管道接口。相比手动挤压喷壶，输送泵输送清洗液的流动速度较为平稳，气体管道受力较为均匀；并且管道接口与气体管道的进液口适配，密闭性较好。因此，气体管道清洗机构不容易出现清洗液泄漏的现象，不容易出现腐蚀操作人

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213378315 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202120738129.8 (22)申请日 2021.04.12 (73)专利权人台湾积体电路制造股份有限公司