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- 2023-03-10 发布于北京
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本实用新型涉及硅片输送技术领域，涉及一种硅片吸盘。本实用新型可对硅片保持竖直状态进行抓取，通过主体和横板对硅片进行吸附，通过主吸气孔和副吸气孔配合可提供足够的吸附力不会使竖直状态的硅片掉落，有效改善整个吸盘的密闭性，从而保持了吸盘吸紧硅片的持久性，主体和横板可增大与硅片的接触面积，可提供足够的支撑面不会使硅片在运动中不会颤动。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213415523 U
(45)授权公告日 2021.06.11
(21)申请号 202021780832.7
(22)申请日 2020.08.24
(73)专利权人 罗博特科智能科技股份有限公司
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