一种COF曝光机专用精密多功能工件台.pdfVIP

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2023-03-10 发布于四川
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本实用新型涉及一种COF曝光机专用精密多功能工件台，包括吸附板、XYθ工作台和Z工作台，所述的吸附板设置在XYθ工作台的顶部，XYθ工作台底部连接Z工作台，XYθ工作台包括θ驱动板、XY驱动板和XYθ工作台基板，Z工作台包括Z顶部基板、Z驱动基板和Z基板，COF基材通过吸附板吸附在多功能工件台上，所述的吸附板有效区域内表面上设有密集的小孔。本实用新型的有益效果是：可以XYZθ四个方向运动，保证基材地对位标记和掩模版上的mark对位的一致性。吸附平台表面喷涂一层特氟龙材质，耐磨损，摩擦系数较低，不

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213399198 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022767953.4 (22)申请日 2020.11.26 (73)专利权人上