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本实用新型的具备电磁能量双重激发功能的微波耦合等离子体发生装置属于微波能应用技术领域。所述的微波耦合等离子体发生装置由微波同轴谐振腔部分和磁场发生部分组成；所述的微波同轴谐振腔部分包括外导体(1)、微波天线(2)、内导体(3)、中管(4)、内管(5)、样品管(6)和阻抗匹配筒(7)，所述的磁场发生部分由励磁下部(8)、励磁中部(9)、励磁上部(10)构成。相比于相有技术，本实用新型具有提高等离子体的电子密度、提高微波能的利用效率、提高等离子体的原子化能力等优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213426550 U
(45)授权公告日 2021.06.11
(21)申请号 202020996573.5
(22)申请日 2020.06.03
(73)专利权人 吉林大学
地址 1
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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