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一种可调节气孔大小的离子筛网.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于四川
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一种可调节气孔大小的离子筛网.pdf

    本实用新型公开了一种可调节气孔大小的离子筛网，包括上层孔板和下层孔板，上层孔板和下层孔板中心设有一共用转轴，所述上层孔板上均匀分布有上通孔，下层孔板上均匀分布有与上通孔大小、形状、数量及位置均相同的下通孔；所述上层孔板或下层孔板连接有旋转驱动机构。本实用新型与现有技术相比的优点是：可通过自动调节旋转角度来实现不同的孔径，提升了去胶速率大小(或刻蚀速率)的可调范围，避免了为实现不同去胶工艺要求离子筛网的频繁更换，提高的生产工艺的稳定性和生产效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213424938 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202022405508.3 (22)申请日 2020.10.26 (73)专利权人 上海稷以科技有限公司

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