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一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于四川
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一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置.pdf

    本实用新型公开了一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置，涉及保护开关技术领域，本实用新型包括连接开关、法兰、电磁开关、压缩弹簧以及电性开关，其特征在于：法兰包括法兰本体、第一支柱以及第二支柱，第一支柱一端与法兰本体一表面焊接，第一支柱另一端与连接开关一表面连接，第二支柱一端与法兰本体一表面焊接，第二支柱另一端与电性开关一表面连接，若干电磁开关一端均与连接开关一表面连接，若干压缩弹簧均安装于法兰内部一表面，本实用新型一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置，过设置若干组电磁开关，只有当室门关闭，所有

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213424847 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202022430726.2 (22)申请日 2020.10.28 (73)专利权人 曜昀光电科技（厦门）有限公司

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