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- 2023-03-10 发布于四川
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本实用新型涉及硅片传输设备领域，涉及一种气浮硅片传输机构。本实用新型通过两皮带单元上的挡料部件对硅片进行支撑，通过驱动单元驱动皮带单元转动带动挡料部件上的硅片移动来实现硅片的运输；避免硅片上下表面与其他部件接触，从而减小了运输过程中硅片表面的磨损；同时气浮组件能够利用经由出气孔流出气体的压强施加给硅片向上是支撑力，从而使得硅片能够悬浮，减小挡料部件定位时硅片因自身重力产生的形变。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213424955 U
(45)授权公告日 2021.06.11
(21)申请号 202022434312.7
(22)申请日 2020.10.28
(73)专利权人 罗博特科智能科技股份有限公司
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