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一种硅片传输设备.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于北京
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一种硅片传输设备.pdf

    本实用新型提供了一种硅片传输设备，所述的硅片传输设备包括多个平行设置的纵向硅片传输机构、至少一个横向硅片传输机构，所述的横向硅片传输机构包括横向传输组件、用于驱动所述的横向传输组件升降的升降组件，所述的横向传输组件包括两个相互平行设置的横向传输导轨，所述的纵向硅片传输机构包括相互平行设置的两个纵向传送导轨，所述的纵向传送导轨包括纵向导轨安装架，所述的纵向导轨安装架上设置有至少一组开口朝上的避让槽，所述的横向硅片传输机构的横向传输导轨能够穿过所述的避让槽。本实用新型的硅片传输设备，通过多个纵向硅片

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213415522 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202021596673.5 (22)申请日 2020.08.04 (73)专利权人 罗博特科智能科技股份有限公司

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