1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种用于晶圆加工的轴心定位装置.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约9.05千字
  • 约 12页
  • 2023-03-10 发布于北京
  • 举报

一种用于晶圆加工的轴心定位装置.pdf

    本实用新型涉及晶圆加工技术领域，公开了一种用于晶圆加工的轴心定位装置，包括载片台，载片台上开设有以载片台的中轴线为阵列中心呈环形阵列设置的至少三条滑槽，滑槽内均滑动连接有滑块，滑块的顶部上均设有定位块；载片台内部设有以载片台的中轴线为阵列中心呈环形阵列设置的第一锥齿轮，第一锥齿轮的齿座部均接有呈水平设置的丝杠，丝杠一端与第一锥齿轮的齿座部固接在一起，另一端与载片台的内侧壁转动连接在一起，丝杠上均设有丝杠螺母和连接块，连接块的顶部与其所在丝杠对应的滑槽内接有的滑块的底部固接在一起，第一锥齿轮上均接

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213424962 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202021938108.2 (22)申请日 2020.09.08 (73)专利权人 南京禅生半导体科技有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >