一种超薄晶圆治具.pdfVIP

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2023-03-10 发布于四川
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本实用新型公开了一种超薄晶圆治具，包括固定半环件、第一活动半环件和第二活动半环件，固定半环件与第一活动半环件通过铰链连接，与第二活动半环件通过铰链连接，第一活动半环件和第二活动半环件的衔接处设有衔接开关；固定半环件上固定连接有若干个第一支撑条，均匀排列在固定半环件上，第一活动半环件上固定连接有若干个第二支撑条，均匀排列在第一活动半环件上，第二活动半环件上固定连接有若干个第三支撑条，均匀排列在第二活动半环件上，第二支撑条与第三支撑条处于同一水平高度，第一支撑条的高度大于第二支撑条的高度；本实用新型

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213401128 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202023017577.3 (22)申请日 2020.12.14 (73)专利权人绍兴同芯成集成电路有限公司