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本实用新型公开了一种超快激光透明材料的加工装置,由光纤超快激光器、聚焦透镜和焦点调整机构组成,其特征在于:光纤超快激光器主要由输出波长在1020纳米~1090纳米之间的种子激光器、多级或单级光纤放大器、准直器构成,所述种子激光器上设有脉冲控制装置;种子激光器的输出光经光纤放大器放大后,由准直器准直后输出激光脉冲串;所述激光脉冲串经聚焦透镜聚焦在透明材料的待加工位置,焦点调整机构按设定轨迹调节聚焦点相对透明材料的位置,以垂直于所述透明材料的上表面和下表面的方向为上下方向,所述聚焦点与所述透明材料之
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213410786 U
(45)授权公告日 2021.06.11
(21)申请号 201821475489.8 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(22)申请日 2018
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