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晶圆自动排序机工作台防护装置.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于北京
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晶圆自动排序机工作台防护装置.pdf

    本申请涉及一种晶圆自动排序机工作台防护装置，包括工作台、机柜以及机箱，所述工作台内设有空腔，所述工作台的上表面边缘处竖直开设有安装槽，所述工作台上设有防护罩，所述防护罩竖直滑动设置在安装槽内，所述防护罩朝向机箱的一侧与所述机箱贴合，所述防护罩的顶端设有顶盖，所述顶盖可拆卸连接在防护罩上，所述工作台上设有用于带动防护罩竖直方向移动的升降组件。本申请具有减少晶圆粉尘污染，提高晶圆加工质量的效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213415524 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202021992834.2 (22)申请日 2020.09.12 (73)专利权人 争丰半导体科技（苏州）有限公司

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