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一种基于超表面光学天线的红外射频信号探测器.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于四川
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一种基于超表面光学天线的红外射频信号探测器.pdf

    本实用新型公开了一种基于超表面光学天线的红外射频信号探测器，包括自下而上依次设置的衬底、掺杂层和二氧化硅层，制作于掺杂层之上与掺杂层形成肖特基接触的超表面光学天线层，制作于掺杂层之上与掺杂层形成欧姆接触的欧姆电极，以及位于二氧化硅层的上表面的肖特基电极和普通电极；超表面光学天线层是由多个彼此间隔的金属层组成的阵列结构，金属层包括第一金属层和第二金属层，第一金属层为宽度为0.5～5mm的具有周期性纳尖结构的金属纳尖阵列，第二金属层为宽度为5～100mm的金属阵列，由周期性排列的微米基元构成；超表面

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213425003 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202022401720.2 H01Q 15/10 (2006.01) (22)申请日 2

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