原创力文档- 199
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- 2023-03-11 发布于四川
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本实用新型公开一种远程等离子体源RPS腔体结构，包括进气腔一端设有进气口，另一端底部设有点火口；进气喷嘴设在进气口；电离腔竖向设在点火口上方，底端与进气腔另一端顶部连通设置，口径大于进气腔口径；出气腔横向设置在电离腔上方，一端与电离腔顶端连通，另一端设有排气口；回流腔连通电离腔顶端与进气腔靠近进气口一侧顶部。本实用新型气体由进气口进入经过进气腔到达电离腔，点火发生电离反应生成氟离子，通过出气口排出至反应室内，未电离气体由回流腔回流至进气腔内；电离腔的口径大于进气腔，气体在进入电离腔内部时降低了压
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213459632 U
(45)授权公告日 2021.06.15
(21)申请号 202022752230.7
(22)申请日 2020.11.24
(73)专利权人 江苏信基科技有限公司
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