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本实用新型公开了一种提高LED紫外线面光源光照均匀性UV膜解胶装置，涉及半导体封装测试技术领域。本实用新型包括承载板、上支撑板、圆筒罩、散热板、LED面光源、透紫外线玻璃；圆筒罩内周侧壁上设置有镜面反射罩；待解胶产品包括晶圆、设置于晶圆周侧的支撑环以及将晶圆和支撑环贴附在一起的UV膜；待解胶产品放置于承载板表面通孔位置并与LED面光源相对应平行设置。本实用新型使用整面的LED光源，灯源不用做运动，然后通过合理的紫外光反射罩设计，提高LED紫外线面光源照射的均匀性，将待解除UV膜胶性的12寸晶圆区
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213459656 U
(45)授权公告日 2021.06.15
(21)申请号 202022283545.1
(22)申请日 2020.10.14
(73)专利权人 上海技垚科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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