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高Q值氮化铝lamb波谐振器.pdfVIP

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  • 2023-03-11 发布于四川
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高Q值氮化铝lamb波谐振器.pdf

    本实用新型提供了一种高Q值氮化铝lamb波谐振器，包括：电极、薄膜(2)；所述电极包括：叉指电极(1)、底电极(3)；所述叉指电极(1)的一端接入RF信号；所述叉指电极(1)的另一端与地相连；所述底电极(3)采用电性浮接；所述薄膜(2)设置于叉指电极(1)、底电极(3)之间。本实用新型通过采用压电薄膜，解决了其他常规压电薄膜很难与半导体工艺兼容、介电常数过高、机械品质因数低等问题。这使得本专利所提出的谐振器在高灵敏度智能传感器的应用中能发挥更加优越的性能。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213460044 U (45)授权公告日 2021.06.15 (21)申请号 202022703114.6 (22)申请日 2020.11.20 (73)专利权人 浙江信唐智芯科技有限公司

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