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本实用新型涉及一种镀膜设备,包括进料仓、镀膜仓和出料仓,进料仓设有间隔的第一闸门和第二闸门以将进料仓分隔为第一准备腔、上料腔和第二准备腔,上料腔与镀膜仓连通且与第一准备腔和第二准备腔分别相邻,出料仓设有第三闸门和第四闸门以将出料仓分隔为第一下料腔、暂存腔和第二下料腔,暂存腔与镀膜仓连通且与第一下料腔和第二下料腔分别相邻。如此,第一准备腔和第二准备腔可以轮流进料和抽真空,第一下料腔和第二下料腔可以轮流下料和抽真空,而上料腔、镀膜仓和暂存腔不受影响,始终保持镀膜所需的真空状态,可以一直连续不断地镀膜
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213476141 U
(45)授权公告日 2021.06.18
(21)申请号 202022026805.7 C23C 16/54 (2006.01)
(22)申请日 2
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