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本实用新型公开了一种放电机构及沉积设备，该放电机构包括绝缘杆、放电极板、极板绝缘套和限位件，放电极板为至少两个，放电极板套设在绝缘杆上，且至少两个放电极板间隔设置，极板绝缘套套设在绝缘杆上，且位于相邻的两个放电极板之间，极板绝缘套的外周壁上设有沉积槽，限位件成对设置，至少两个放电极板设在成对设置的两个限位件之间。该放电机构能够较好地避免相对设置的放电极板导通的现象发生，避免放电极板短路的现象发生，从而确保等离子稳定生产以确保产品镀膜效果。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218602373 U
(45)授权公告日 2023.03.10
(21)申请号 202222991197.2
(22)申请日 2022.11.10
(73)专利权人 深圳市拉普拉斯能源技术有限公
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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