一种碳化硅芯片切割装置.pdfVIP

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  • 2023-03-13 发布于四川
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本实用新型提供一种碳化硅芯片切割装置。所述碳化硅芯片切割装置包括滑移块;两个定撑板,两个所述定撑板分别设在滑移块的两侧;两个转动杆,两个所述转动杆均转动安装在两个所述定撑板之间,两个所述转动杆均与滑移块螺纹连接;第一电机,所述第一电机设在对应的所述定撑板的一侧,所述第一电机的输出轴与对应的所述转动杆的一端固定连接;两个皮带轮,两个所述皮带轮分别固定套设在对应的所述转动杆上;皮带,所述皮带套设在两个所述皮带轮之间;圆型块,所述圆型块转动安装在滑移块上。本实用新型提供的碳化硅芯片切割装置具有使用方便

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213533295 U (45)授权公告日 2021.06.25 (21)申请号 202022282984.0 (22)申请日 2020.10.14 (73)专利权人 济南新芯微电子有限公司

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