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一种靶材表面喷砂保护装置.pdfVIP

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  • 2023-03-13 发布于四川
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一种靶材表面喷砂保护装置.pdf

    本实用新型提供了一种靶材表面喷砂保护装置，所述靶材表面喷砂保护装置包括靶材上表面保护层、靶材侧面保护板和至少2个靶材侧面夹具，在实际使用过程中，操作人员先通过所述靶材上表面保护层对待喷砂靶材的上表面进行保护，然后通过所述靶材侧面保护板对待喷砂靶材的侧面进行保护，最后通过至少2个靶材侧面夹具对所述靶材侧面保护板加以固定。本实用新型所述靶材表面喷砂保护装置不仅可以达到保护靶材溅射区的目的，还可以重复使用，避免胶的残留，并且可以提高喷砂保护的操作效率，降低成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213532231 U (45)授权公告日 2021.06.25 (21)申请号 202022285682.9 (22)申请日 2020.10.14 (73)专利权人 合肥江丰电子材料有限公司

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