一种硅片清洗装置.pdfVIP

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2023-03-13 发布于四川
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一种硅片清洗装置.pdf

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本实用新型涉及硅片清洗技术领域，公开了一种硅片清洗装置。硅片清洗装置包括槽体和气管组件。待清洗的硅片置于槽体内的清洗液中，槽体的底部设置有出水口，出水口处设置有过滤网。气管组件包括气管和支架，支架固定在槽体底面，气管上开设多个通气孔，气管置于硅片的下方并固定在支架上；气管组件与过滤网沿竖直方向间隔设置，且过滤网位于气管组件在槽体底面上的投影外。本实用新型，降低了清理的难度，避免了碎片在槽体内部残留，保证后续的清洗效果。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213529930 U (45)授权公告日 2021.06.25 (21)申请号 202022171852.0 H01L 31/18 (2006.01)