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平稳运行的硅片转运装置.pdfVIP

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  • 2023-03-13 发布于四川
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平稳运行的硅片转运装置.pdf

    本实用新型公开一种平稳运行的硅片转运装置，包括安装于机架上的运料底板、设置于运料底板一端的上料座、输入组件和输出组件，所述输入组件和输出组件分别安装于机架上并呈上下叠置，所述上料座可沿竖直方向上下移动，当上料座移动至上端时，其与输入组件的一端邻接，所述输入组件将料篮运送至上料座上，当上料座移动至下端时，其与输入组件的一端邻接，并将料篮运送至输入组件上，两个所述立板的上端面之间通过一顶支撑板连接，一驱动组件与两个立板中的至少一个连接，用于驱动两个立板沿竖直方向同步运动。本实用新型实现了对料篮的自动

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213546284 U (45)授权公告日 2021.06.25 (21)申请号 202022278073.0 (22)申请日 2020.10.14 (73)专利权人 昆山莱崎龙精密技术有限公司

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