金属溅射设备及用于其的匹配连接板.pdfVIP

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2023-03-14 发布于四川
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金属溅射设备及用于其的匹配连接板.pdf

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本实用新型提供了一种金属溅射设备及用于其的匹配连接板。该匹配连接板包括中部设置有贯通的匹配于靶材的适配口的连接板本体和设置于连接板本体的裸露壁面上的冷却结构件；其中，连接板本体的裸露壁面为连接板本体设置于金属溅射设备的腔体与靶材之间时暴露于外部环境的壁面。上述匹配连接板方便加工，且加工工艺简单，加工工期短，改造成本低，便于应用；而且匹配连接板能够及时带走腔体内部多余的热量，减少累温的产生，则每片的等待时间可大大减少，从而提升生产效率；同时能够提高溅射金属薄膜质量，以及降低粘片发生的概率，保证金属

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218596491 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202222157328.7 (22)申请日 2022.08.16 (73)专利权人北京燕东微电子科技有限公司地址