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一种集成式控制阀.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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一种集成式控制阀.pdf

    本实用新型涉及真空元件技术领域，尤其是指一种集成式控制阀，包括基板以及装设于所述基板的真空组件，所述基板设置有抽气孔和排气孔，所述抽气孔与所述真空组件的抽气端连通，所述排气孔与所述真空组件的排气端连通，所述基板设置有真空孔，所述真空孔内设置有用于往所述真空组件内通入高压气体的真空机构。本实用新型通过直接在基板内设置有真空孔，并把真空机构集成于真空孔内，从而让真空机构与真空组件于基板内实现连通，有利于减少导管的设置而增加了密封的可靠性，且使得本实用新型的结构更加紧凑，有利于节省空间。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213575562 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022279655.0 (22)申请日 2020.10.13 (73)专利权人 东莞市鸿诺自动化科技有限公司

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