原创力文档- 2
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- 2023-03-14 发布于四川
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本实用新型提供了一种转接组件和气相沉积设备，其中，转接组件包括承载架；连接部，连接部设置于承载架上，连接部上设置有多个连接件；液体分配组件，液体分配组件通过连接件与连接部相连接；气体分配组件，气体分配组件通过连接件与连接部相连接。本实用新型提供的转接组件，实现了将液体分配组件和气体分配组件的集中布置，进而实现了通过转接组件对液体分配组件和气体分配组件的集中转接，从而使得在对设备进行安装时，无需针对气体或液体传输管路和分配组件进行单独布置与安装，直接将液体和气体的传输接口连接于液体分配组件以及气体
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213576138 U
(45)授权公告日 2021.06.29
(21)申请号 202022452310.0
(22)申请日 2020.10.29
(73)专利权人 常州捷佳创精密机械有限公司
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