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气相沉积平台.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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气相沉积平台.pdf

    本实用新型公开了一种气相沉积平台，包括不锈钢平台，所述不锈钢平台上设置有安装柱，所述安装柱上设有石英天花板，所述安装柱的端部设有将石英天花板卡固的卡环；所述石英天花板上设有晶相沉积的、增加表面粗糙度的喷砂层。通过喷砂层的设计来增强晶相沉积时的粗糙度，延长石英天花板的更换周期时间，喷砂层上沉积的化合物更加牢固，降低成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213570822 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022455240.4 (22)申请日 2020.10.29 (73)专利权人 苏州尚勤光电科技有限公司

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