毛细结构的激光加工装置.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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本实用新型公开了一种毛细结构的激光加工装置,包括:用于承载工件的加工台,用于发出单束激光的激光发生器,用于将单束激光分为至少两个平行光束的分光器,用于调节平行光束之间间距的光束变距装置,用于对平行光束聚焦以使平行光束照射在工件上的场镜;其中,激光发生器、分光器、光束变距装置、场镜和加工台沿光路依次分布。本实用新型公开的毛细结构的激光加工装置,通过分光器将单束激光分为至少两个平行光束,且光束变距装置能够调节平行光束之间的间距,则实现了多路激光同时加工,有效提高了加工效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213560528 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202021717549.X B23K 26/70 (2014.01) (22)申请日 2

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