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白光干涉法微观台阶测量 白光干涉法是一种应用于微观台阶测量的技术，它可以精确测量物体的尺寸和形状。此外，它还具有显示出隐藏的微细缺陷特别有用的能力。该技术已经被用于许多行业，广泛应用于航空、半导体、汽车、船舶和航天等行业的工业生产和质量检测，以期获得精确的尺寸测量结果和准确判断零件的质量。其实，白光干涉法不仅仅可以用来测量台阶外形，还可以用来测量准物体的表面，这取决于被采集的物体的轮廓是否合适。 白光干涉法的原理是，当光程衰减的确定波长的入射光经过棱镜入射到物体表面，由物体反射出来的光经过回波衰减，回波又经过棱镜出射，当出射光之后，就会产生黑白光衍射花纹。随着物体表面凹凸高度的改变，夹层厚度将改变，由而改变产生的衍射花纹的亮度分布，而这种微弱的衍射花纹又可以通过数据处理软件分析得出物体台阶形状。 一般来说，白光干涉法测量台阶形状的基本过程是，首先要使用干涉仪将物体表面的形状反射给视野，然后通过图像处理技术获得台阶的实时表格数据，最后通过三维测量软件读取台阶表格数据，计算台阶各项尺寸数据，给出准确的测量结果。 白光干涉法的优势在于其测量的精确度高、台阶宽度测量范围宽广、采样率高、抗噪声功能强，而且可以同时检测出物体表面形状和产品内部封闭空间缺陷等，最终能够把台阶尺寸维度测量准确精确。 总之，白光干涉法是一种有效的应用于微观台阶测量的技术，它通过入射光及回波模型，测量出台阶形状的高度及尺寸，从而获得精确的测量结果，起到了精确判断零件质量的作用。此外，白光干涉法还有优势的精确度、高采样率、抗噪声等众多优点，这使其成为研究物体微观台阶表面形状和准物体表面高度的理想技术。