原创力文档- 3
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- 2023-03-14 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，包括传输装置、传输装置支撑架、载盘导轨和传输固定座，其中传输固定座包括传输固定块、传输调整块、螺杆和传输脚座，所述传输固定块固定在传输装置支撑架的四个角上，传输调整块安装在传输固定块上，传输脚座固定在传输调整块上面通过螺丝锁紧，螺杆垂直固定在传输调整块上；传输装置通过传输固定座安装在传输装置支撑架上；所述载盘导轨按照载盘在传输装置上所处的位置，对称固定在传输装置支撑架上。本实用新型可解决载盘在传输过程中脱轨问题，解决了因脱轨问题导致的对产能
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213570712 U
(45)授权公告日 2021.06.29
(21)申请号 202022444856.1
(22)申请日 2020.10.29
(73)专利权人 山东三齐能源有限公司
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