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本实用新型公开了一种减少涡流的晶圆质子辐照用超导扫描磁体结构包括:线圈骨架,用于固定超导线圈,形成超导磁体;通槽,设计多个,开设在所述线圈骨架上,用于将涡流重新分配,使大涡流变成小涡流。本实用新型通过设计的通槽,将涡流进行重新分配,由大的涡流变成小的涡流,从而避免温升的集中,避免超导磁体失超。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218602199 U
(45)授权公告日 2023.03.10
(21)申请号 202222313294.6
(22)申请日 2022.09.01
(73)专利权人 无锡市核力创芯科技有限公司
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