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一种碳化硅芯片清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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一种碳化硅芯片清洗装置.pdf

    本实用新型提供一种碳化硅芯片清洗装置。所述碳化硅芯片清洗装置包括清洗箱；两个第一放置板，两个第一放置板分别固定安装在所述清洗箱的两侧内壁上；集水箱，所述集水箱设置在所述清洗箱的底部内壁上；第一气缸，所述第一气缸固定安装在所述清洗箱的顶部内壁上；第二气缸，所述第二气缸固定安装在所述集水箱的底部内壁上；两个连接框，两个所述连接框分别固定安装在所述第一气缸和所述第二气缸的伸缩轴上；两个通口。本实用新型提供的碳化硅芯片清洗装置具有操作简单，清洗快速、清洗效果好的优点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213558655 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022284865.9 (22)申请日 2020.10.14 (73)专利权人 济南新芯微电子有限公司

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