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晶圆研磨装置和研磨垫.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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晶圆研磨装置和研磨垫.pdf

    本实用新型提供了一种晶圆研磨装置和研磨垫。所述晶圆具有待研磨表面以及晶边表面，所述晶圆研磨装置包括研磨平台、晶圆载具、研磨垫和晶边研磨部。晶圆载具用以承载晶圆。研磨垫放置于所述研磨平台上，用以研磨所述晶圆的所述待研磨表面。晶边研磨部设置在所述研磨垫边缘，用于研磨所述晶圆的所述晶边表面。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213561892 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022436959.3 (22)申请日 2020.10.28 (73)专利权人 长江存储科技有限责任公司

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