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PECVD设备.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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PECVD设备.pdf

    本实用新型提供一种PECVD设备，包括腔室、升降组件、位于腔室内的遮蔽架和多个支撑件，腔室可封闭，支撑件沿腔室的内侧壁间隔设置，且各支撑件位于同一水平面上，遮蔽架搭设在多个支撑件上且与腔室的内侧壁之间具有间隙，至少部分升降组件伸入腔室内且可沿竖直方向往复移动，用以使遮蔽架搭设在升降组件的基板上或搭设在多个支撑件上。本实用新型提供的PECVD设备，减少支撑件与腔室内侧壁和遮蔽架摩擦产生的颗粒，提高产品的良品率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213570728 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022096863.7 (22)申请日 2020.09.22 (73)专利权人 成都中电熊猫显示科技有限公司

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