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一种防护装置.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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一种防护装置.pdf

    本实用新型公开一种防护装置，涉及半导体设备技术领域，所述防护装置包括：防护罩，所述防护罩上分别设有用于工件流入的第二自动门和工件流出的第一自动门，所述第一自动门包括：可在防护罩外面向上翻转的自动门本体，和开设于所述自动门本体上的折叠门；当工件从第一自动门流出时，所述自动门本体向上翻转，同时折叠门向上折叠收起并在自动门本体上形成缺口；当工件从所述第一自动门流出后，所述自动门本体向下翻转至原位，同时折叠门重新沿缺口展开至原位。本实用新型通过自动门本体的翻转及折叠门的折叠，能够在满足工位内工件进出和遮

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218598069 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202221600433.7 (22)申请日 2022.06.24 (73)专利权人 深圳市雕拓科技有限公司 地址 5

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