用于检验半导体石英坩埚外形态及标识检测点的检具.pdfVIP

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2023-03-15 发布于四川
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用于检验半导体石英坩埚外形态及标识检测点的检具.pdf

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本实用新型的用于检验半导体石英坩埚外形态及标识检测点的检具包括至少两个结构相同的检测板，检测板的内侧的上端为弧形，检测板的弧度与合格坩埚的底部的弧度相同，检测板的内侧的下端竖直向下，检测板的内侧的下端的边沿到检具的中心的水平距离与合格坩埚的外径相同，检测板的内侧的底部与检测板的内侧的顶部之间的高度与合格坩埚的高度相同，以确认检测坩埚的切割位置。检测时，将坩埚倒放在检查台上，检具放置在坩埚上，通过检具与坩埚进行对照，以判断坩埚是否合格。检测过程简单、快速且准确。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213599961 U (45)授权公告日 2021.07.02 (21)申请号 202022879489.8 (22)申请日 2020.12.02 (73)专利权人宁夏富乐德石英材料有限公司