除液槽和清洗设备.pdfVIP

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2023-03-15 发布于北京
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除液槽和清洗设备.pdf

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本实用新型提供了一种除液槽和清洗设备。其中，除液槽包括：槽体，槽体能够容纳硅片载具，槽体底部设有排液管路；除液组件，至少部分除液组件设于槽体内，用于去除置于槽体内的硅片载具底部的液体。本实用新型的技术方案，可有效去除附着于硅片载具底部的液体，防止硅片载具的底部有液体残留，以使完成除液操作的硅片载具进行烘干操作时不会产生烘干盲区，进而防止对后续加工工艺造成影响，有利于提高硅片产品的质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213583712 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022795432.X (22)申请日 2020.11.27 (73)专利权人常州捷佳创精密机械有限公司