液体喷头和气体喷头.pdfVIP

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2023-03-15 发布于四川
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液体喷头和气体喷头.pdf

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本实用新型公开了液体喷头和气体喷头，用于冲洗、吹干芯片，所述液体喷头包括进液口、出液口以及连通所述进液口与出液口的流道，所述出液口的数量为多个，各所述出液口分别用于冲洗芯片上划分的各冲洗区，所述进液口、流道和出液口构造为冲洗时各所述冲洗区内的电极位点同时受到冲刷，相邻所述出液口之间能够在所述芯片表面形成避开电极位点的汇聚水流，且所述汇集水流沿所述冲洗区的分界线向外流动。该液体喷头在对芯片进行冲洗时，芯片各个cell不仅同时被冲洗，从而缩短了冲洗时间，而且，冲洗的时长、水流强度基本相同，各个cel

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213558769 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202121069522.9 (22)申请日 2021.05.19 (73)专利权人捷仪科技（北京）有限公司